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一种CVD设备沉积台 

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申请/专利权人:浙江无限钻科技发展有限公司

摘要:本实用新型提供一种CVD设备沉积台,涉及人造钻石用CVD沉积装置技术领域,包括:沉积支座,所述沉积支座上方固定连接有第一固定环台,所述第一固定环台内部固定连接有平衡内架,所述平衡内架上固定连接有环形结构的第二固定环台,本结构的沉积台使钻石沉积过程中保持合理的密度,在保证产量的同时还避免了相邻钻石之间的联结,实用性好,解决了现有CVD沉积技术用于制造人造钻石时,在沉积台上摆放钻石薄片,通过气相沉淀会使钻石薄片体积变大,若沉积台上的钻石薄片间距过小,相邻的钻石薄片在气相沉淀过程中膨胀会接触,形成联结,影响钻石沉积成型的质量,而钻石薄片在沉积台上的摆放密度过小,会降低人造钻石的产量的问题。

主权项:1.一种CVD设备沉积台,包括:沉积支座1,其特征在于,所述沉积支座1上方固定连接有第一固定环台2,所述第一固定环台2内部固定连接有平衡内架3,所述平衡内架3上固定连接有环形结构的第二固定环台4,所述第一固定环台2与第二固定环台4高度平齐,升降内台5,所述升降内台5下方设有支架,升降内台5的支架固定连接有升降外台6,所述升降内台5与升降外台6高度平齐,所述升降内台5与升降外台6的支架与平衡内架3形成滑动连接,所述沉积支座1内部固定连接有两处升降锁套7。

全文数据:

权利要求:

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