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申请/专利权人：天合光能(宿迁)光电有限公司
摘要：本申请公开了一种太阳能电池及其制备方法，太阳能电池的制备方法包括以下步骤：提供衬底，所述衬底具有背光面以及与所述背光面相对的受光面；所述背光面上制备隧穿氧化层以及本征多晶硅层；对所述本征多晶硅层依次进行预掺杂、推进以及再掺杂制备掺杂多晶硅层；对预设第一电极在所述掺杂多晶硅层的表面上正投影区域进行第一次激光处理。上述太阳能电池的制备方法通过优化化学气相沉积方法的参数制备掺杂多晶硅层以及配合对于所需重掺杂区域进行的激光处理，既可以为了形成良好的接触效果在特定的区域进行重掺杂，还对于不需要接触的区域，保持原有掺杂效果，避免大量重掺杂区的存在导致钝化效果变差，可以提高整体太阳能电池效率。
主权项：1.一种太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：提供衬底，所述衬底具有背光面以及与所述背光面相对的受光面；在所述背光面上制备隧穿氧化层以及本征多晶硅层；对所述本征多晶硅层依次进行预掺杂、推进以及再掺杂制备掺杂多晶硅层；对预设第一电极在所述掺杂多晶硅层表面的正投影区域进行第一次激光处理；其中，所述再掺杂的温度为730℃~790℃。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天合光能(宿迁)光电有限公司 太阳能电池及其制备方法
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