龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：北京量子信息科学研究院
摘要：本发明公开了一种超高真空内原位制作二维量子霍尔器件的装置及方法，包括可XY平面内旋转和Z轴移动的操纵台、样品台、样品架和传样杆，所述操纵台上固定有多根导轨柱，导轨柱的底端固定有环形支架；所述样品台固定安装在导轨柱上，样品台上开设有插槽，样品架插在插槽的内部，样品架内固定有1英寸大小的样品晶圆；所述样品台的正下方设有轮盘底座，轮盘底座包括轮盘座上层和轮盘座下层。本发明所有的过程全部处于超高真空内，结合超高真空分子束外延生长薄膜技术，在超高真空腔体内利用一种轮盘式原位更换掩膜的方法直接将分子束外延生长好的薄膜原位制备成栅压调控的二维量子霍尔器件，使得样品免受大气污染和氧化以及微纳加工过程中受到的化学污染，极大地提高了栅压调控的超导霍尔器件的制备效率，简化了流程，降低了成本。
主权项：1.一种超高真空内原位制作二维量子霍尔器件的装置，包括可XY平面内旋转和Z轴移动的操纵台（1）、样品台（2）、样品架（6）和传样杆（4），其特征在于，所述操纵台（1）上固定有多根导轨柱（501），导轨柱（501）的底端固定有环形支架（5）；所述样品台（2）固定安装在导轨柱（501）上，样品台（2）上开设有插槽（203），样品架（6）插在插槽（203）的内部，样品架（6）内固定有1英寸大小的样品晶圆（601）；所述样品台（2）的正下方设有轮盘底座（3），轮盘底座（3）包括轮盘座上层（303）和轮盘座下层（302），轮盘座上层（303）和轮盘座下层（302）之间分别转动安装有齿轮C（305）和齿轮B（304），轮盘座上层（303）的顶端转动连接有掩膜旋翼（10），掩膜旋翼（10）上安装有四个掩膜（1001），掩膜旋翼（10）的中心位置设有第一支柱（1002），第一支柱（1002）与齿轮C（305）固定，所述导轨柱（501）的外部位于轮盘底座（3）与环形支架（5）之间套设有复位弹簧（301）；所述轮盘底座（3）的上还设有齿轮A（401），齿轮C（305）、齿轮B（304）和齿轮A（401）依次啮合，通过传样杆（4）推动轮盘底座（3）向下移动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京量子信息科学研究院 一种超高真空内原位制作二维量子霍尔器件的装置及方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号