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申请/专利权人：核工业西南物理研究院
摘要：本实用新型公开了一种制备大面积镓离子源的装置，涉及离子源技术领域。该装置包括外壳，外壳的侧壁上具有多个气孔；冷却底座，安装在外壳内，冷却底座的顶端开设有放置槽；安装壳，安装在放置槽的槽底；内磁钢，放置在安装壳内；外磁钢，数量为两个，两个外磁钢分别安装在冷却底座相对的两侧壁上；电源，与冷却底座、内磁钢以及两个外磁钢电连接。通过内磁钢与外磁钢的配合，产生平行于架金属块表面的磁场，然后通电加速电子，在通过气孔输入工作气体，产生等离子体，等离子体中离子和电子进一步溅射电离镓金属块产生纳米级镓金属离子，因此产生电等离子体速度非常快，使得本实用新型提供的制备大面积镓离子源的装置更便于制备大面积氮化镓薄膜。
主权项：1.一种制备大面积镓离子源的装置，其特征在于，包括：外壳1，所述外壳1的顶端具有开口，所述外壳1的侧壁上具有多个气孔11，多个所述气孔11沿所述外壳1的长度方向均匀分布在所述外壳1的侧壁上；冷却底座2，所述冷却底座2安装在所述外壳1内，所述冷却底座2的顶端开设有放置槽21，所述放置槽21用于放置液态镓，所述冷却底座2用于固化所述液态镓；安装壳3，所述安装壳3安装在所述放置槽21的槽底，且所述安装壳3位于所述冷却底座2的中心处；内磁钢4，所述安装壳3具有安装腔体，所述内磁钢4放置在所述安装腔体内；外磁钢5，所述外磁钢5的数量为两个，两个所述外磁钢5分别安装在所述冷却底座2相对的两侧壁上，且两个所述外磁钢5位于所述内磁钢4的两侧；电源，所述电源与所述冷却底座2、所述内磁钢4以及两个所述外磁钢5电连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 核工业西南物理研究院 一种制备大面积镓离子源的装置
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