龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：株式会社阿迪泰克工程
摘要：提供一种能够进行用以往的直尺不能实现的亚微米级的平直度测量的技术。对于具有圆环状的光透过狭缝22的遮光板2照射来自作为激光光源的光源1的光，从光透过狭缝22射出的衍射光为在与光透过狭缝22同轴的基准轴Ax上的点P0处较强地干涉而照度成为峰值。受光器4根据对象物9的表面的凹凸或直线移动机构90的精度而上下运动，峰值位置m变化。被输入来自受光器4的测量数据集的运算处理部5对于各峰值位置m进行线性回归处理而求出倾斜线t，计算峰值位置m相对于倾斜线t的振幅的最大值δ，作为平直度的测量结果。
主权项：1.一种平直度测量用基准光发生器，其特征在于，具备：一个光源；以及遮光板，被配置在接受来自一个光源的光的照射的位置，遮光板具有圆环状的光透过狭缝，一个光源被配置在经过光透过狭缝的圆环的中心并与遮光板垂直的狭缝轴上，并且以被照射在遮光板上的光芒包含光透过狭缝的全域的姿势配置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社阿迪泰克工程 平直度测量用基准光发生器、平直度测量用基准提供方法及平直度测量装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号