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申请/专利权人：上海芯绒科技有限公司
摘要：本申请涉及MEMS传感器技术领域，具体而言，涉及一种小型化MEMS压力传感器及其制备方法。小型化MEMS压力传感器，包括：基底，具有第一表面和第二表面；压敏电阻，设置于所述第一表面；凹槽，设置于所述第二表面，以形成应变膜和支撑应变膜的基座；其中，所述应变膜和所述基座的内侧面的夹角为90°。在上述技术方案中，应变膜和基座的内侧面的夹角为90°，也即是，基座的内侧面为直面，相比于基座的内侧面为斜面的设置方式，这样能够在保证应变膜尺寸的情况下尽可能地减小基底的尺寸，从而能够减小MEMS压力传感器的结构尺寸，有利于实现传感器的小型化设计。
主权项：1.一种小型化MEMS压力传感器，其特征在于，包括：基底，具有第一表面和第二表面；压敏电阻，设置于所述第一表面；凹槽，设置于所述第二表面，以形成应变膜和支撑应变膜的基座；其中，所述应变膜和所述基座的内侧面的夹角为90°。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海芯绒科技有限公司 小型化MEMS压力传感器及其制备方法
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