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申请/专利权人：湖北九峰山实验室
摘要：本实用新型涉及一种MEMS芯片及电容式MEMS麦克风，MEMS芯片包括：基底；背板，背板边缘通过至少三个第一引脚与基底连接，至少三个第一引脚沿背板周向间隔分布；分布于背板两侧的两层振膜，振膜在与背板平面垂直的方向与背板间隔设置，振膜边缘通过至少三个第二引脚与基底连接，至少三个第二引脚沿振膜周向间隔分布，背板上设有多个连通两侧空间的通孔；密封结构，其设于振膜边缘，密封结构连接两层振膜以使两层振膜之间形成低压密封空腔，背板位于低压密封空腔内。本申请通过设置两层振膜并形成低压密封空腔，降低振膜与背板之间空气压膜阻尼，降低本底噪声，振膜通过边缘第二引脚和基底连接，振膜整体的结构刚度小，振膜有效面积大，具有更高的灵敏度。
主权项：1.一种MEMS芯片，其特征在于，包括：基底1；设于所述基底1上的背板2，所述背板2边缘通过至少三个第一引脚21与所述基底1连接，至少三个所述第一引脚21沿所述背板2周向间隔分布；分布于所述背板2两侧的两层振膜3，所述振膜3在与所述背板2平面垂直的方向与所述背板2间隔设置，所述振膜3边缘通过至少三个第二引脚31与所述基底1连接，至少三个所述第二引脚31沿所述振膜3周向间隔分布，所述背板2上设有多个连通两侧空间的通孔；密封结构，其设于所述振膜3边缘，所述密封结构连接两层所述振膜3以使两层所述振膜3之间形成低压密封空腔，所述背板2位于所述低压密封空腔内。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 湖北九峰山实验室 一种MEMS芯片及电容式MEMS麦克风
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