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申请/专利权人：苏州原位芯片科技有限责任公司
摘要：本发明属于微机电系统领域，涉及MEMS微泵，解决降低刻蚀成本和高频泵送易堵塞问题，包括硅层，具有相对的第一面和第二面，第一面蚀刻有用于形成泵腔的第一凹槽，第二面蚀刻有用于形成泵膜、进口阀体和出口阀体的沟槽，进口阀体外周的沟槽至少部分贯穿到第一凹槽，出口阀体中开设有沿硅层厚度方向贯穿的中心流道，中心流道与第一凹槽连通以引出流体；第一封闭层，连接在第一面，封盖第一凹槽以形成泵腔；第二封闭层，连接在第二面，第二封闭层对应泵膜的位置开设有用于连接泵膜驱动器的驱动通道；出口阀体和第二封闭层中至少一者相面对的部分减薄，或者第二封闭层开设通孔，以形成较大出液腔。有益效果是降低刻蚀成本、实现高频泵送。
主权项：1.一种MEMS微泵，其特征在于，包括：硅层（1），所述硅层（1）具有相对的第一面（11）和第二面（12），所述第一面（11）蚀刻有用于形成泵腔（4）的第一凹槽（13），所述第二面（12）蚀刻有用于形成泵膜（14）、进口阀体（15）和出口阀体（16）的沟槽（17），所述进口阀体（15）外周的所述沟槽（17）至少部分贯穿到所述第一凹槽（13）以引入流体，所述出口阀体（16）中开设有沿硅层厚度方向贯穿的中心流道（161），所述中心流道（161）与所述第一凹槽（13）连通以引出流体；第一封闭层（2），所述第一封闭层（2）连接在所述第一面（11），封盖所述第一凹槽（13）以形成泵腔（4）；第二封闭层（3），所述第二封闭层（3）连接在所述第二面（12），所述第二封闭层（3）对应所述泵膜（14）的位置开设有用于连接泵膜驱动器的驱动通道（31）；所述出口阀体（16）和所述第二封闭层（3）中至少一者相面对的部分减薄以形成出口阀体（16）的出液腔（5）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州原位芯片科技有限责任公司 一种MEMS微泵
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