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申请/专利权人：住友重机械工业株式会社
摘要：本发明提供一种低温泵10的再生方法。低温泵10具备低温板18和容纳低温板18的低温泵容器16。该方法包括：使低温板18从超低温升温至升温结束温度的步骤；以及在低温板18升温至升温结束温度的状态下结束低温泵10的再生的步骤。结束的步骤包括：重复进行向低温泵容器16供给吹扫气体之后对低温泵容器16进行粗抽然后测定低温泵容器16内的压力上升率从而获取压力上升率的履历的步骤；以及根据所获取的压力上升率的履历来确定是否结束低温泵10的再生的步骤。
主权项：1.一种低温泵的再生方法，其特征在于，所述低温泵具备低温板和容纳所述低温板的低温泵容器，所述方法包括如下步骤：使所述低温板从超低温升温至升温结束温度的步骤；以及在所述低温板升温至所述升温结束温度的状态下结束所述低温泵的再生的步骤，所述结束的步骤包括：重复进行向所述低温泵容器供给吹扫气体之后对所述低温泵容器进行粗抽然后测定所述低温泵容器内的压力上升率从而获取所述压力上升率的履历的步骤；以及根据所获取的所述压力上升率的履历来确定是否结束所述低温泵的再生的步骤。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 住友重机械工业株式会社 低温泵的再生方法及低温泵
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