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一种非对称势垒有源区808nm半导体激光器外延片及制备方法 

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申请/专利权人:山东华光光电子股份有限公司

摘要:本发明涉及一种非对称势垒有源区808nm半导体激光器外延片及制备方法,属于光电子技术领域,由下自上依次包括GaAs衬底、GaAs缓冲层、AlGaAsN限制层、AlGaAsN波导层、InGaAsPN势垒层、InGaAsP量子阱层、GaAsPP势垒层、Alx5Ga1‑x5AsP分级波导层、AlGaAsP限制层和GaAs帽层;本发明在InGaAsPInGaAsPGaAsP非对称势垒有源区结构基础上,结合P波导Al组分梯度分级分布,增加波导层与限制层的折射率差,降低了光场损耗,提高了光学限制因子,加强了波导层的光学限制能力,将光场集中在有源区中。

主权项:1.一种非对称势垒有源区808nm半导体激光器外延片,其特征在于,由下自上依次包括GaAs衬底、GaAs缓冲层、Alx1Ga1-x1AsN限制层、Alx2Ga1-x2AsN波导层、Inx3Ga1-x3Asy1P1-y1N势垒层、Inx4Ga1-x4Asy2P1-y2量子阱层、GaAsy3P1-y3P势垒层、Alx5Ga1-x5AsP分级波导层、Alx6Ga1-x6AsP限制层和GaAs帽层;Inx3Ga1-x3Asy1P1-y1N势垒层与GaAsy3P1-y3P势垒层为非对称,所述Alx5Ga1-x5AsP分级波导层为Al组分渐变结构。

全文数据:

权利要求:

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