龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：长江存储科技有限责任公司
摘要：本发明涉及一种形成三维存储器的字线连接区的方法及三维存储器。该方法包括以下步骤：提供半导体结构，半导体结构具有衬底、覆盖衬底的堆叠层和覆盖堆叠层的硬掩模层，堆叠层包括交替堆叠的多个第一材料层和多个第二材料层；图案化所述硬掩模层以形成多个开口，多个开口暴露所述堆叠层；通过多个开口在堆叠层中形成多个接触孔，多个接触孔的每个接触孔分别到达各自预定深度的第一材料层；在多个接触孔的每个接触孔侧壁形成绝缘层；在多个接触孔的所述绝缘层内填充保护层；将堆叠层中的所述第一材料层替换为导电层；以及在多个接触孔的每个接触孔中形成接触部。本发明可以克服字线连接区的刻蚀缺陷和接触部对准等问题。
主权项：1.一种三维存储器，包括：堆叠层，包括在第一方向上间隔设置的字线；接触部，沿所述第一方向延伸并贯穿所述字线，所述接触部与被所述接触部贯穿的所述字线相隔离；倒钩部，连接至所述接触部在所述第一方向上的一侧，所述倒钩部沿与所述第一方向交叉的第二方向延伸，并连接至预定深度的所述字线；栅极隔槽，沿所述第一方向延伸并贯穿所述堆叠层；以及隔离层，所述隔离层位于所述栅极隔槽内。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 长江存储科技有限责任公司 制作三维存储器的字线连接区的方法及三维存储器
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号