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申请/专利权人：安华高科技股份有限公司
摘要：本公开涉及一种以高精度监测工艺、电压及温度的超紧凑及微功率电路。一种装置包含电路，所述电路产生与半导体衬底的区域的电压相关联的第一电流、与所述区域的温度相关联的第二电流、与所述区域的第一工艺参数相关联的第三电流及与所述区域的第二工艺参数相关联的第四电流。所述装置的多路复用器接收所述第一、第二、第三及第四电流并逐个且周期性地选择所述电流。所述装置的环形振荡器耦合到所述多路复用器并从所述多路复用器逐个且周期性地接收所述第一、第二、第三及第四电流。所述环形振荡器以基于从所述多路复用器接收的所述电流的振荡频率振荡。基于所述振荡频率确定所述区域的所述电压、温度及所述第一及第二工艺参数。
主权项：1.一种装置，其包括：第一电路，其经配置以产生：第一电流，其与半导体衬底的区域中的电压相关联；第二电流，其与所述半导体衬底的所述区域中的温度相关联；及第三电流，其与所述半导体衬底的所述区域中的第一工艺参数相关联；及多路复用器，其经配置以接收所述第一电流、所述第二电流及所述第三电流，其中所述多路复用器经配置以逐个且周期性地供应所述第一电流、所述第二电流及所述第三电流；及环形振荡器，其耦合到所述多路复用器并经配置以逐个且周期性地从所述多路复用器接收所述第一电流、所述第二电流及所述第三电流，其中在每一时间段，所述第一电流、所述第二电流或所述第三电流中的一者被提供到所述环形振荡器，且其中所述环形振荡器经配置以按基于从所述多路复用器接收的电流的频率振荡。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安华高科技股份有限公司 以高精度监测工艺、电压及温度的超紧凑及微功率电路
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