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申请/专利权人：南京华易泰电子科技有限公司

摘要：本发明提出一种搬运晶圆的抓取组件，涉及半导体制造技术领域，包括水平设置的Y平台，Y平台上表面的四个端角处均固设有耳式支座，每两个相邻的耳式支座上均转动连接有翻转轴，翻转轴的一端延伸均出其中一个耳式支座，该搬运晶圆的抓取组件，通过翻转组件的作用带动两个翻转轴相向转动，两个翻转轴的转动会带动与翻转轴固定连接的抓手连接块转动，抓手连接块的转动带动了与抓手连接块固定连接的机械抓手的转动，两个相邻的机械抓手夹紧晶圆，以便于移动搬运晶圆，可以通过翻转组件的作用调整机械抓手的预紧力，适用于搬运不同大小的晶圆，提高抓取晶圆的稳定性，减少晶圆破片的可能性，且实现X、Y、Z轴三方向运动。

主权项：1.一种搬运晶圆的抓取组件，其特征在于，包括水平设置的Y平台205，所述Y平台205上表面的四个端角处均固设有耳式支座206，每两个相邻的耳式支座206上均转动连接有翻转轴207，所述翻转轴207的一端延伸均出其中一个耳式支座206，所述翻转轴207延伸出耳式支座206的一端固定连接有抓手连接块208，所述抓手连接块208上固定连接有抓取晶圆的机械抓手209，所述Y平台205上设有驱动机械抓手209转动以夹紧晶圆的翻转组件211；所述机械抓手209底部开设有若干个与晶圆适配的限位槽，且若干个限位槽阵列式排布，两个相邻的所述翻转轴207上套设有对翻转轴207起到限位作用的连接板210，所述翻转轴207与连接板210转动连接，所述Y平台205上设有驱动机械抓手209转动以夹紧晶圆的翻转组件211；所述翻转组件211包括嵌套在翻转轴207圆周外壁上的翻转板21101，所述翻转板21101与翻转轴207固定连接，所述翻转板21101上表面活动连接有随动轮21102，两个相邻的所述翻转板21101通过两个预压弹簧21103固定连接，两个所述预压弹簧21103分别位于随动轮21102的两侧，两个相邻的所述翻转板21101之间设有位于预压弹簧21103和Y平台205之间的凸轮板21104，所述凸轮板21104靠近翻转板21101的一侧设有斜坡面21105，所述随动轮21102的外表面与凸轮板21104的斜坡面21105抵触，所述凸轮板21104靠近机械抓手209的一端直径小于凸轮板21104远离机械抓手209一端的直径，所述Y平台205上固设有推动凸轮板21104移动的导杆气缸21106。

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