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提高残余气体分析仪检测灵敏度和信噪比的装置与方法 

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申请/专利权人:上海裕达实业有限公司

摘要:本发明提供了一种提高残余气体分析仪检测灵敏度和信噪比的装置与方法,其中,该装置包括:前置放大单元,用于对微弱电流信号进行转换与放大;信号甄别单元,用于对前级放大的信号进行甄别比较并转换成脉冲信号;甄别电压设置单元,用于设置并产生信号甄别单元需要的甄别电压;脉冲信号计数单元,用于对甄别后的信号脉冲计数。本发明所提供的装置可降低信号噪声,提高残余气体分析仪的检测灵敏度和信噪比,提升仪器的整体性能。

主权项:1.一种提高残余气体分析仪检测灵敏度和信噪比的装置,其特征在于,包括:电子倍增器1、前置放大单元2、甄别电压设置单元3、信号甄别单元4、脉冲计数单元5和上位机6;所述前置放大单元2一端与电子倍增器1连接,所述前置放大单元2另一端与甄别电压设置单元3连接;所述甄别电压设置单元3、信号甄别单元4和脉冲计数单元5依次连接,形成一个回路;所述脉冲计数单元5与上位机6连接;所述前置放大单元2对电子倍增器1输出的电子流信号进行IV转换并放大,IV转换和放大后的电压信号输出给信号甄别单元4;所述甄别电压设置单元3根据上位机6发送给脉冲计数单元5的指令并受脉冲计数单元5的控制产生甄别电压,输出至信号甄别单元4;所述脉冲甄别单元4将前置放大单元2输出的电压信号和甄别电压设置单元3输出的甄别电压进行比较后,输出脉冲信号至脉冲计数单元5;所述脉冲计数单元5对脉冲甄别单元4输出的脉冲进行计数,并将计数的结果发送至上位机6。

全文数据:

权利要求:

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