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申请/专利权人:浙江奥首材料科技有限公司
摘要:本发明提供一种强清洗性无醇单晶硅制绒添加剂、包含其的制绒液、其制备方法与应用。本发明强清洗性无醇单晶硅制绒添加剂包括重量配比如下的各组分:多糖1‑5份;表面活性剂1‑5份;聚合物0.1‑2份;无机盐0.5‑3份;无机碱30‑50份;去离子水40‑60份。本发明还公开了强清洗性无醇单晶硅制绒添加剂的制备方法及其在硅片制绒领域的应用。含有本发明强清洗性无醇单晶硅制绒添加剂的制绒液具有优异的清洗能力,能够有效去除硅片表面的油污、手印等污染物,提升制绒后的硅片洁净度,而且本发明不含异丙醇,降低了生产成本和环境污染。
主权项:1.一种强清洗性无醇单晶硅制绒添加剂,其特征在于,包括重量配比如下的各组分:
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