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具有集成接地层的垂直腔表面发射激光器设备 

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申请/专利权人:朗美通经营有限责任公司

摘要:在一些实施方式中,垂直腔表面发射激光器VCSEL设备包括衬底和衬底上的多个VCSEL。VCSEL设备可以包括在衬底上并且电连接到多个VCSEL的阳极层。VCSEL设备可以包括在多个VCSEL中的一个或多个VCSEL的至少一部分的上方并且电连接到一个或多个VCSEL的阴极电极。VCSEL设备可以包括通过一个或多个绝缘层与至少一个阳极层和阴极电极电绝缘的接地层,其中接地层在阳极层和阴极电极上、在阳极层和阴极电极之间、或在阳极层下面。

主权项:1.一种发射器组合件,包括:载体,所述载体包括接地平面;去耦电容器,所述去耦电容器电连接到所述接地平面;以及垂直腔表面发射激光器VCSEL设备,所述垂直腔表面发射激光器设备在所述载体上并且电连接到所述接地平面和所述去耦电容器,所述VCSEL设备包括:衬底;所述衬底上的多个VCSEL;至少一个阳极层,所述至少一个阳极层在所述衬底上并且电连接到所述多个VCSEL;一个或多个第一互连件,所述一个或多个第一互连件电连接到所述至少一个阳极层和所述载体;阴极电极,所述阴极电极在所述多个VCSEL中的一个或多个VCSEL的至少一部分的上方,并且电连接到所述一个或多个VCSEL;一个或多个第二互连件,所述一个或多个第二互连件电连接到所述阴极电极和所述载体;接地层,所述接地层电连接到所述接地平面并且通过一个或多个绝缘层与所述至少一个阳极层和所述阴极电极电绝缘;以及一个或多个第三互连件,所述一个或多个第三互连件电连接所述接地层和所述载体。

全文数据:

权利要求:

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