龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所
摘要：本发明公开了一种外差相位干涉的双路测量装置及方法，解决了现有的激光干涉仪在运行过程中会受到环境振动、器件噪声等影响导致测量精度下降的问题。本发明使测量光路形成两路同步光路，分别以不同频率光携带位移测量信息，通过相位耦合来实现四倍光学细分的测量目的，降低测量系统内的实时测量误差对测量结果的影响。本发明相对于现有的位移测量装置，在原来层次上，多加入一路测量光路，两者相互对照来补偿反射镜和干涉仪组件的路径差和角度差，在两次往返运动下实现四倍光学细分，相对于其他四倍光学结构，不仅原理简单，只需要单次检测即可获得测量光信号，而且装调简单，反射光和测量光分离调节，可直接进行点点对位，实现精准位移测量。
主权项：1.一种外差相位干涉的双路测量装置，其特征在于：包括矩形状的偏振分光棱镜3，其第一侧与第三侧相对、第二侧与第四侧相对；所述第一侧沿偏振分光棱镜3的边长方向设有第一分光棱镜201和第一直角棱镜501；第一直角棱镜501与偏振分光棱镜3之间的光路上还设有第二四分之一波片402；所述第一分光棱镜201远离偏振分光棱镜3的一侧设有用于发射入射光为两束频率不同的正交线偏振激光的双频激光器1；所述第一分光棱镜201用于将入射光分为两束平行光入射至偏振分光棱镜3；所述偏振分光棱镜3用于将两束平行光分别分为频率不同的两束光；所述第二侧设有第二分光棱镜202，所述第二分光棱镜202远离偏振分光棱镜3的一侧设有第一光纤耦合器801和第二光纤耦合器802；所述第二分光棱镜202用于对光线进行两次反射或一次透射，最后使光线进入第一光纤耦合器801或第二光纤耦合器802；所述第三侧设有第一四分之一波片401；所述第一四分之一波片401远离偏振分光棱镜3的一侧用于设置待测镜7；所述第四侧设有第二直角棱镜502，其底边靠近偏振分光棱镜3设置；所述第一光纤耦合器801、第二光纤耦合器802分别用于接收第二分光棱镜202出射的频率不同的两束光并分别形成干涉，从而分别获得待测镜7的位移测量信号。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种外差相位干涉的双路测量装置及方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号