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申请/专利权人:ASML荷兰有限公司
摘要:自动缺陷分类方法可以包括从检查工具获取包括候选缺陷集的图像数据集,制定多个缺陷检查类型和多个滋扰检查类型,并使用机器学习分类器根据缺陷检查类型和滋扰检查类型来对候选缺陷集进行分类。在分类方法中使用多个滋扰检查类型来降低滋扰率。
主权项:1.一种用于改善图像检查数据的滋扰率的方法,所述方法包括:获得包括候选缺陷集的图像数据;制定多个缺陷检查类型和多个滋扰检查类型;在第一分类阶段期间基于所述多个缺陷检查类型来将所述候选缺陷集分类为一个或多个缺陷类型;在所述第一分类阶段期间基于所述多个滋扰检查类型来将所述候选缺陷集分类成多个滋扰类型,以及将基于机器学习的多阶段分类应用于经分类的所述候选缺陷集。
全文数据:
权利要求:
百度查询: ASML荷兰有限公司 用于改善缺陷分类滋扰率的方法和系统
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