首页 专利交易 科技果 科技人才 科技服务 国际服务 商标交易 会员权益 IP管家助手 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索

用于改善缺陷分类滋扰率的方法和系统 

买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!

申请/专利权人:ASML荷兰有限公司

摘要:自动缺陷分类方法可以包括从检查工具获取包括候选缺陷集的图像数据集,制定多个缺陷检查类型和多个滋扰检查类型,并使用机器学习分类器根据缺陷检查类型和滋扰检查类型来对候选缺陷集进行分类。在分类方法中使用多个滋扰检查类型来降低滋扰率。

主权项:1.一种用于改善图像检查数据的滋扰率的方法,所述方法包括:获得包括候选缺陷集的图像数据;制定多个缺陷检查类型和多个滋扰检查类型;在第一分类阶段期间基于所述多个缺陷检查类型来将所述候选缺陷集分类为一个或多个缺陷类型;在所述第一分类阶段期间基于所述多个滋扰检查类型来将所述候选缺陷集分类成多个滋扰类型,以及将基于机器学习的多阶段分类应用于经分类的所述候选缺陷集。

全文数据:

权利要求:

百度查询: ASML荷兰有限公司 用于改善缺陷分类滋扰率的方法和系统

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。