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申请/专利权人:三星显示有限公司
摘要:提供静电吸盘、沉积设备和使用所述沉积设备制造的显示面板。根据一个方面,提供一种静电吸盘,所述静电吸盘包括:主体;和拉伸辅助装置,设置在所述主体的边界处,所述拉伸辅助装置包括设置在所述主体的一侧上的台阶部分,并且所述台阶部分的一端设置为高于所述主体的上表面。
主权项:1.一种静电吸盘,其中,所述静电吸盘包括:主体;和拉伸辅助装置,设置在所述主体的边界处,其中,所述拉伸辅助装置包括设置在所述主体的一侧上的台阶部分,并且所述台阶部分的一端设置为高于所述主体的上表面。
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权利要求:
百度查询: 三星显示有限公司 静电吸盘、沉积设备和使用沉积设备制造的显示面板
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