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申请/专利权人：京东方科技集团股份有限公司
摘要：本公开实施例提供一种基板上下料装置和电化学沉积设备，所述基板上下料装置用于在基板载具上装卸基板，所述装置包括：支撑架，用于支撑基板载具的承载板；推动结构，设置在支撑架上，推动结构包括多个推动单元，多个推动单元中的每个用于固定基板载具的盖板，并沿基板载具的厚度方向移动盖板，使盖板与承载板接触或分离，多个推动单元对盖板的推动互不影响。
主权项：1.一种基板上下料装置，用于在基板载具上装卸基板，其中，所述装置包括：支撑架，用于支撑基板载具的承载板；推动结构，设置在所述支撑架上，所述推动结构包括多个推动单元，所述多个推动单元中的每个用于固定所述基板载具的盖板，并沿所述基板载具的厚度方向移动所述盖板，使所述盖板与所述承载板接触或分离，多个所述推动单元对所述盖板的推动互不影响；所述推动单元包括：第一推板，所述第一推板上设置有导向孔；导向杆，穿过所述导向孔，并用于沿所述导向孔的轴向与所述第一推板相对移动；第二推板，与所述第一推板相对设置，并与所述导向杆的一端固定连接；弹性件，设置在所述第一推板与所述第二推板之间，并用于沿所述导向杆的延伸方向伸缩；固定件，与所述第二推板连接，用于将所述盖板固定在所述第二推板上。
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权利要求：
百度查询： 京东方科技集团股份有限公司 基板上下料装置和电化学沉积设备
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