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申请/专利权人：山东瑞翼德科技股份有限公司
摘要：本发明涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种硅片夹持装置，包括机械臂，所述机械臂的端部固定设置有固定盘，所述固定盘的下表面固定设置有等距离呈环形分布的安装杆，且安装杆的端部固定设置有安装板，所述安装板外壁靠近中间的位置处开设有安装口，且安装口中固定设置有气筒，所述安装板的外壁还开设有等距离呈环形分布的活动口，且活动口中活动设置有移动块，所述移动块的下表面固定设置有橡胶夹持条。本发明通过吸附机构的吸附夹持和橡胶夹持条的双重夹持作用，可以使得硅片被夹持后更加稳定，以保证加工的精度和一致性，且避免造成硅片损伤，同时该种夹持方式可以使得硅片进行多角度调节，便于对硅片进行多种加工操作，使用效果更佳。
主权项：1.一种硅片夹持装置，包括机械臂，其特征在于，所述机械臂的端部固定设置有固定盘，所述固定盘的下表面固定设置有等距离呈环形分布的安装杆，且安装杆的端部固定设置有安装板，所述安装板外壁靠近中间的位置处开设有安装口，且安装口中固定设置有气筒，所述安装板的外壁还开设有等距离呈环形分布的活动口，且活动口中活动设置有移动块，所述移动块的下表面固定设置有橡胶夹持条，所述橡胶夹持条的侧壁固定设置有等距离分布的气囊，相邻所述气囊之间通过连通管相连通，所述移动块的外壁贯穿固定设置有通风管，且通风管的一端和所述气囊相连通，所述气筒的外壁开设有等距离呈环形分布的安装孔，且安装孔中固定设置有固定管，所述固定管的外侧套接有套管，所述通风管远离气囊的一端和套管相连通，还包括：供排气机构，所述供排气机构设置于气筒和固定盘之间，用于向气筒内导入空气以及抽取气筒内的空气；吸附机构，所述吸附机构设置于气筒的下方，用于橡胶夹持条在对硅片进行夹持前先将硅片吸附；移动机构，所述移动机构设置于安装板中，用于调节移动块在活动口中的位置；密封机构，所述密封机构设置于套筒外侧，用于封堵套管和固定管之间的空隙。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 山东瑞翼德科技股份有限公司 一种硅片夹持装置
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