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申请/专利权人:深圳市善营自动化科技有限公司
摘要:本实用新型公开了一种安全防污染观察装置,包括:设于真空镀膜设备的观察窗后方的观察辊,观察辊的外表面沿其轴向分布设置有若干观察槽孔,所述观察槽孔沿径向贯穿所述观察辊,还设有驱动观察辊沿其自身轴线旋转的驱动机构,本实用新型的防污染观察装置,透过观察盖板通过旋转的观察辊查看真空镀膜腔室内部运行情况,在连续生产过程中,透明的观察盖板不易受到污染,为生产使用带来极大的便利。
主权项:1.一种安全防污染观察装置,其特征在于,包括:设于真空镀膜设备的观察窗后方的观察辊,所述观察辊的外表面沿其轴向分布设置有若干观察槽孔,所述观察槽孔沿径向贯穿所述观察辊,还设有驱动所述观察辊沿其自身轴线旋转的驱动机构。
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百度查询: 深圳市善营自动化科技有限公司 一种安全防污染观察装置
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