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辅助磁悬浮分子泵的涡轮组件装在平衡机上的工具 

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申请/专利权人:北京中科九微科技有限公司

摘要:本实用新型提供了一种辅助磁悬浮分子泵的涡轮组件装在平衡机上的工具,工具包括工装轴及连接构件,其中工装轴包括:彼此相对的第一端部和第二端部,第一端部和第二端部分别用于安装在平衡机的第一支撑部和第二支撑部;位于第一端部和第二端部之间的安装部,其允许所述涡轮组件套装在其上。连接构件用于将涡轮组件可拆卸地固定在安装部上。该工具可以保证涡轮组件可以在已有的平衡机上直接测试,解决传统间接测试的不足,有利于保证涡轮组件具备更高的动平衡精度,并提高磁悬浮分子泵的性能和寿命。

主权项:1.一种辅助磁悬浮分子泵的涡轮组件装在平衡机上的工具,其特征在于,所述工具包括工装轴,其包括:彼此相对的第一端部和第二端部,所述第一端部和第二端部分别用于安装在所述平衡机的第一支撑部和第二支撑部;以及位于所述第一端部和第二端部之间的安装部,其允许所述涡轮组件套装在其上;连接构件,其用于将所述涡轮组件可拆卸地固定在所述安装部上。

全文数据:

权利要求:

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