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申请/专利权人：广西师范大学
摘要：本实用新型涉及电气元件生产装置技术领域，具体涉及一种半导体异质结构纳米线的生长装置，包括反应腔体石英管、切换机构和源机构，切换机构包括把手、第二磁铁、第一磁铁、连接杆和挂钩，源机构包括石英细管、多孔石英支架、金属环和石英舟，通过把手带动第一磁铁在反应腔体外壁上移动，并带动连接杆上的挂钩靠近对应的金属环，然后通过转动把手带动第一磁铁转动，使得第一磁铁通过磁场带动第二磁铁在反应腔体石英管内转动，改变挂钩的角度，使得挂钩将金属环勾住，此时可通过把手对被勾住的石英细管进行位置调整，以实现源材料的切换，解决了传统的CVD没有可以在生长过程中切换各种源材料的部件，不能生长复杂的异质结构的问题。
主权项：1.一种半导体异质结构纳米线的生长装置，其特征在于，包括反应腔体石英管、切换机构和源机构；所述切换机构包括把手、第二磁铁、第一磁铁、连接杆和挂钩，所述第二磁铁设置于所述反应腔体石英管内，所述第一磁铁设置于所述反应腔体石英管外，所述把手与所述第一磁铁固定连接，并位于远离所述第二磁铁的一侧，所述连接杆与所述第二磁铁固定连接，并位于所述第二磁铁外侧壁，所述挂钩与所述连接杆固定连接，并位于远离所述第二磁铁的一侧；所述源机构包括石英细管、多孔石英支架、金属环和石英舟，所述多孔石英支架设置于所述反应腔体石英管内，所述石英细管设置于所述多孔石英支架内侧壁，并贯穿所述多孔石英支架，所述金属环与所述石英细管固定连接，并位于靠近所述挂钩的一侧，所述石英舟设置于所述石英细管的一侧。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广西师范大学 一种半导体异质结构纳米线的生长装置
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