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申请/专利权人：三明学院
摘要：本发明涉及一种TiTiN疏水性复合薄膜制备方法，所述方法为：基片分别用丙酮、酒精和蒸馏水对基片进行超声波清洗；清洗后的基片进行干燥；将干燥后的基片放入真空室；选用Ti靶作为直流阴极，沉积膜层之前首先通入Ar气用Ar+轰击清洗基片表面，轰击后进行沉积Ti过渡层；用纯度大于99.9％的TiN靶作为射频阴极，沉积TiTiN复合薄膜，本发明设计的一种TiTiN疏水性复合薄膜制备方法，制备效率高，可以精确地控制薄膜的成分和结构，调控能力强。
主权项：1.一种TiTiN疏水性复合薄膜制备方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：步骤1：基片分别用丙酮、酒精和蒸馏水对基片进行超声波清洗；步骤2：清洗后的基片进行干燥；步骤3：将干燥后的基片放入真空室；步骤4：选用Ti靶作为直流阴极，沉积膜层之前首先通入Ar气用Ar+轰击清洗基片表面，轰击后进行沉积Ti过渡层；步骤5：用纯度大于99.9％的TiN靶作为射频阴极，沉积TiTiN复合薄膜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 三明学院 一种Ti/TiN疏水性复合薄膜制备方法
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