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申请/专利权人：无锡卓海科技股份有限公司
摘要：本发明公开一种SMIF仿真转换方法、装置及半导体测量机台控制系统。该方法包括：接收上料控制指令；其中，上料控制指令包括上料动作信息及上料距离参数信息；将上料距离参数信息转化为可调距离参数信息并生成上料仿真控制指令；其中，上料仿真控制指令包括上料动作信息及可调距离参数信息；接收下料控制指令；其中，下料控制指令包括下料动作信息及下料距离参数信息；上料距离参数信息与下料距离参数信息相同；将下料距离参数信息转化为可调距离参数信息并输出下料仿真控制指令；下料仿真控制指令包括下料动作信息及可调距离参数信息。本方案实现SMIF技术下测试机台性能检测功能，也实现测试台性能检测载入口形态从OPEN开放载具形态改造为SMIF载具形态。
主权项：1.一种SMIF仿真转换方法，其特征在于，包括：接收上料控制指令；其中，所述上料控制指令包括上料动作信息及上料距离参数信息；将所述上料距离参数信息转化为可调距离参数信息并生成上料仿真控制指令；其中，所述上料仿真控制指令包括所述上料动作信息及所述可调距离参数信息；在性能检测后接收下料控制指令；其中，所述下料控制指令包括下料动作信息及所述下料距离参数信息；所述上料距离参数信息与所述下料距离参数信息相同；将所述下料距离参数信息转化为可调距离参数信息并输出下料仿真控制指令；其中，所述下料仿真控制指令包括所述下料动作信息及所述可调距离参数信息。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡卓海科技股份有限公司 一种SMIF仿真转换方法、装置及半导体测量机台控制系统
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