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申请/专利权人：华海清科股份有限公司
摘要：本申请提供一种电涡流终点检测装置及包括其的化学机械抛光设备。所述电涡流终点检测装置包括壳体、PCB板以及控制模块。所述PCB板封装在所述壳体中，并包括集成在其中的谐振电路，所述谐振电路包括感应线圈；所述控制模块与所述PCB板电连接，所述控制模块基于所述谐振电路中的电流信号检测朝向所述PCB板设置的晶圆的金属膜的厚度。根据本申请的技术方案，通过将感应线圈集成在PCB板中，提高了感应线圈的制造精度和集成效率，避免了传统绕线线圈制造误差较大及检测偏差较大的问题，提高了终点检测的精确性和一致性。
主权项：1.一种电涡流终点检测装置，用于化学机械抛光设备，其特征在于，所述电涡流终点检测装置包括：壳体；PCB板，其封装在所述壳体中，并包括集成在其中的谐振电路，所述谐振电路包括感应线圈；以及控制模块，其与所述PCB板电连接，所述控制模块基于所述谐振电路中的电流信号检测朝向所述PCB板设置的晶圆的金属膜的厚度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华海清科股份有限公司 电涡流终点检测装置及化学机械抛光设备
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