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申请/专利权人：派科森
摘要：一种用于确定薄膜工艺前体的渗透深度的方法，包括：提供插入件100；将该插入件100布置为接触基底200以在该插入件100与该基底200之间形成多个空间101；以及将该一个或多个前体供给到形成的空间101中以确定该前体的渗透深度。
主权项：1.一种用于确定薄膜工艺前体的渗透深度的方法，包括：提供插入件；将所述插入件布置为接触基底以在所述插入件与所述基底之间形成多个空间；以及将所述前体供给到形成的空间中以确定所述前体的渗透深度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 派科森 用于薄膜沉积的工艺控制和监测的方法、插入件和装置
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