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申请/专利权人:阜阳万瑞斯电子锁业有限公司
摘要:本发明适用于退火炉相关技术领域,提供了一种半导体材料退火炉加工放置装置,包括主炉体,其特征在于,主炉体内设置有放置组件,放置组件包括转动连接在主炉体内的第一转轴,第一转轴的侧面固定连接有多组圆周阵列分布的第一连接板,第一连接板通过第二转轴与第二连接板连接,第二连接板上设置有多个阵列分布的放置单元,放置单元包括两两一组对称设置的支撑块,支撑块设置于第二连接板的上方,支撑块通过连接单元与第二连接板连接,第二连接板上设置有第一调节单元,第二连接板的下端固定连接有重物块,本发明根据放置的球类元件的大小,通过第一调节单元对支撑块之间的距离进行调节,继而能够满足对不通过直径的球类元件进行稳定放置的需求。
主权项:1.一种半导体材料退火炉加工放置装置,包括主炉体1,其特征在于,所述主炉体1上设置有箱门2,所述主炉体1内设置有放置组件,所述放置组件包括转动连接在所述主炉体1内的第一转轴3,所述第一转轴3的侧面固定连接有多组圆周阵列分布的第一连接板4,每组所述第一连接板4之间均通过第二转轴5与第二连接板6连接,所述第二连接板6上设置有多个阵列分布的放置单元,所述放置单元包括两两一组对称设置的支撑块7,所述支撑块7设置于所述第二连接板6的上方,所述支撑块7通过连接单元与所述第二连接板6连接,所述第二连接板6上设置有第一调节单元,所述第二连接板6的下端固定连接有重物块8。
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