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一种降低脉冲电荷影响的MOS半导体器件 

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申请/专利权人:杭州谱析光晶半导体科技有限公司

摘要:本发明涉及MOS半导体技术领域,且公开了一种降低脉冲电荷影响的MOS半导体器件,包括由若干个MOS元胞构成的PMOSFET结构,所述PMOSFET结构包括漏极、源极以及每个MOS元胞表面嵌设的栅极;单个所述MOS元胞包括有衬底层、扩散层、P阱层以及N阱层,所述P阱层与扩散层之间通过N阱层隔绝;其中,单个所述MOS元胞的沉底层与扩散层之间离子注入形成有三个掺杂N阱层一。本发明通过在扩散层的内部离子注入形成重掺杂N阱层,这样在形成电荷沟道之后可以有效降低沟道起到桥梁作用时的电阻,并且该重掺杂N阱层与扩散层有着更大的接触面积和更小的流入电阻,这样可以极大的降低扩散层与P阱层的导通电阻。

主权项:1.一种降低脉冲电荷影响的MOS半导体器件,其特征在于,包括由若干个MOS元胞构成的PMOSFET结构,所述PMOSFET结构包括漏极1、源极5以及每个MOS元胞表面嵌设的栅极4;单个所述MOS元胞包括有衬底层2、扩散层3、P阱层以及N阱层,所述P阱层与扩散层3之间通过N阱层隔绝;其中,单个所述MOS元胞的沉底层2与扩散层3之间离子注入形成有三个掺杂N阱层一6;所述N阱层包括重掺杂P阱层一8、轻掺杂P阱层一9、重掺杂P阱层二10以及轻掺杂P阱层二15;所述P阱层包括低掺杂N阱层一11、重掺杂N阱层一12、低掺杂N阱层二13、重掺杂N阱层二14以及轻掺杂P阱层二15;所述扩散层3的内部靠近栅极4位置处离子注入形成有重掺杂N阱层一7,其重掺杂N阱层一7与轻掺杂P阱层二15欧姆接触。

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权利要求:

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