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一种冷轧取向硅钢EBSD用样品电解抛光制样方法 

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申请/专利权人:包头钢铁(集团)有限责任公司

摘要:本发明公开了一种冷轧取向硅钢EBSD用样品电解抛光制样方法,包括:S1.机械抛光,切取10mm*10mm规格试样用超声仪清洗,在不同粒度的砂纸上预磨后在金相试样抛光机上抛光至镜面;S2.电解抛光,利用struerslectropol‑5型电解抛光机对机械抛光好的试样进行电解抛光;S3.EBSD检测。本发明主要解决现有设备技术条件下如何得到高质量的EBSD检测技术样品的问题,适用于大批量冷轧取向硅钢的EBSD样品制备,发明本方法后实验过程简单快捷,节约了实验时间和成本。

主权项:1.一种冷轧取向硅钢EBSD用样品电解抛光制样方法,其特征在于,包括:S1.机械抛光,切取10mm*10mm规格试样用超声仪清洗,在不同粒度的砂纸上预磨后在金相试样抛光机上抛光至镜面;S2.电解抛光,利用struerslectropol-5型电解抛光机对机械抛光好的试样进行电解抛光;S2.1准备两个规格为500ml的匹配容器,一个加入500ml去离子水,另一个加入500ml浓度5%的高氯酸乙醇电解液,将加入去离子水的容器置于电解抛光机的容器槽内;S2.2打开设备开关,进入操作主界面,选择manualfuntions界面中的changeelectrolyte界面后,启动程序清洗与电解液接触的抛光装置器件;S2.3待清洗程序结束后将容器更换为5%的高氯酸乙醇电解液容器,样品台上放入1cm2孔径样品模具;S2.4选择usermethods界面植入一个空白界面进行编程:选择抛光腐蚀程序,抛光面积1cm2区域,电解液温度22℃,电压40V,流速17,抛光时间20S后,保存程序;S2.5启动预设定好的程序,待电解抛光结束后迅速用样品夹将样品取出后用无水乙醇溶液冲洗吹干;S3.EBSD检测,将制备好的样品用导电胶粘在70°样品台上,放入扫描电镜的载物台中抽真空到5*10-9mpa后,开启高压,选择HDBSD信号调试设备参数至观察到清晰的样品形貌;关闭高压后插入EBSD探头,探头插入后开启高压调试EBSD参数,采集样品检测区域的形貌,在检测区域点击样品任意微区均可观察高质量的菊池花样图像。

全文数据:

权利要求:

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