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申请/专利权人：南京理工大学
摘要：本发明公开了一种基于穆勒矩阵的硅片反射光偏振应力检测装置及方法，包括连续激光器、扩束镜、偏振片、分光镜14波片片、CCD、二维平移台、PC机组成。所述激光器为1550nm连续激光器，输出的连续激光先后通过扩束镜和偏振片进入分光镜，分光镜的反射光经过波片后垂直射入样品，样品的反射光先后通过波片、分光镜和偏振片最终进入CCD，CCD拍得样品偏振图像并送入PC机，进行灰度处理、穆勒矩阵计算、中值滤波后得到相位差图像。根据分析滤波后相位差图像，分析样品内部的应力情况。
主权项：1.一种基于穆勒矩阵的硅片反射光偏振应力检测装置，其特征在于：包括连续激光器1、扩束镜头2、第一偏振片3、分光镜4、14波片5、二维平移台6、第二偏振片8、CCD9、PC机10；共第一光轴依次设置连续激光器1、扩束镜头2、第一偏振片3、分光镜4，分光镜4的反射光路为第二光轴，共第二光轴依次设置14波片5、二维平移台6，二维平移台6上放置有硅片样品7，分光镜4的透射光路为第三光轴，共第三光轴依次设置第二偏振片8、CCD9，PC机10与CCD9电连接；连续激光器1输出激光依次经扩束镜头2、第一偏振片3后转变为线偏振光，并进入分光镜4，经分光镜4反射入14波片5变为右旋圆偏振光后，射到位于二维平移台6的硅片样品7上，二维平移台6进行二维方向逐行逐列移动，经硅片样品7反射，携带硅片样品7的面型信息的光束依次通过14波片5、分光镜4、第二偏振片8后，被CCD9的靶面接收，得到偏振图像，CCD9将采集到的图像传送给PC机10进行处理。
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权利要求：
百度查询： 南京理工大学 基于穆勒矩阵的硅片反射光偏振应力检测装置及方法
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