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申请/专利权人：无锡英诺赛思科技有限公司;清华大学无锡应用技术研究院

摘要：本发明提供一种用于失效分析的样品的处理装置，包括梯形工作台，防滑橡胶垫，带孔IC座，塑料支架，弯折观察架结构，吸尘补光架结构，电动马达，侧面支撑架，燕尾型限位滑槽，燕尾型移动滑块，锁紧螺栓，升降减速架结构，燕尾型升降板，齿槽移动板和打磨马达，所述的防滑橡胶垫胶接在梯形工作台的下部；所述的带孔IC座胶接在梯形工作台的上部；所述的塑料支架螺钉连接在梯形工作台的上部左侧。本发明矩形连接管、放大镜片和橡胶护眼罩的设置，有利于对的芯片表面的观察位置进行放大，保证工作人员可以清晰地看到打磨效果，提高该装置的打磨精度。

主权项：1.一种用于失效分析的样品的处理装置，其特征在于，该用于失效分析的样品的处理装置，包括梯形工作台（1），塑料支架（4），弯折观察架结构（5），吸尘补光架结构（6），电动马达（7），燕尾型移动滑块（10），升降减速架结构（12），燕尾型升降板（13），齿槽移动板（14）和打磨马达（15），所述的塑料支架（4）螺钉连接在梯形工作台（1）的上部左侧；所述的弯折观察架结构（5）安装在塑料支架（4）的上部；所述的吸尘补光架结构（6）设置在梯形工作台（1）的上部右侧；所述的电动马达（7）螺钉连接在梯形工作台（1）的上部右侧；所述的燕尾型移动滑块（10）插接在侧面支撑架（8）的内侧；所述的升降减速架结构（12）安装在燕尾型移动滑块（10）的左侧；所述的燕尾型升降板（13）和齿槽移动板（14）分别设置在升降减速架结构（12）的内部左侧；所述的打磨马达（15）螺栓连接在燕尾型升降板（13）的左侧下部；所述的弯折观察架结构（5）包括三角固定罩（51），反射镜面（52），矩形连接管（53），放大镜片（54）和橡胶护眼罩（55），所述的反射镜面（52）粘贴在三角固定罩（51）的内侧左下部；所述的矩形连接管（53）设置有两个，分别胶接在三角固定罩（51）的右侧和三角固定罩（51）的上部；所述的放大镜片（54）卡接在矩形连接管（53）的内侧；所述的橡胶护眼罩（55）胶接在矩形连接管（53）的上部，所述的升降减速架结构（12）包括中空安装壳（121），多级减速架结构（122），带轴升降旋钮（123），燕尾型滑动凹槽（124）和升降联通槽（125），所述的多级减速架结构（122）安装在中空安装壳（121）的内侧；所述的带轴升降旋钮（123）轴接在中空安装壳（121）的前端上部；所述的燕尾型滑动凹槽（124）和升降联通槽（125）分别开设在中空安装壳（121）的内部左侧，所述的多级减速架结构（122）包括驱动小齿轮（1221），从动大齿轮（1222），联动小齿轮（1223），联动大齿轮（1224）和齿条传动齿轮（1225），所述的从动大齿轮（1222）设置在驱动小齿轮（1221）的下部；所述的联动小齿轮（1223）一体化设置在从动大齿轮（1222）的前端中间位置；所述的联动大齿轮（1224）设置在联动小齿轮（1223）的下部；所述的齿条传动齿轮（1225）一体化设置在联动大齿轮（1224）的前端中间位置。

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