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申请/专利权人：广东工业大学
摘要：本发明公开了一种氧化物硬质涂层的复合沉积方法及涂层刀具，涂层刀具包括刀具基体和氧化物硬质涂层，氧化物硬质涂层包含多层交替沉积的阴极弧蒸发氧化物层和磁控溅射氧化物层，阴极弧蒸发氧化物层具有Cr和O，磁控溅射氧化物层具有Al和O。采用阴极弧蒸发磁控溅射复合沉积方式制备氧化物硬质涂层，兼顾阴极弧蒸发技术的沉积速率快、离化率高和磁控溅射技术液滴少的特点，显著改善氧化物硬质涂层的表面质量，提高涂层的硬度和致密度；阴极弧蒸发氧化物层和磁控溅射氧化物层之间产生共格界面，阴极弧蒸发氧化物层的模板作用促进磁控溅射氧化物层结晶，改善涂层刀具的力学性能。本发明可广泛应用于金属切削刀具技术领域。
主权项：1.一种氧化物硬质涂层的复合沉积方法，其特征在于：所述复合沉积方法采用阴极弧蒸发技术结合磁控溅射技术在刀具基体上交替沉积阴极弧蒸发氧化物层和磁控溅射氧化物层，获得氧化物硬质涂层，所述复合沉积方法包括将刀具基体装载至反应腔中，反应腔抽真空，加热，对刀具基体进行离子清洗；反应腔抽真空，通入氧气和惰性气体，开启电弧靶和溅射靶；反应腔中，氧气的进气位置距离电弧靶较近、距离溅射靶较远，惰性气体的进气位置距离电弧靶较远、距离溅射靶较近；其中，沉积氧化物硬质涂层过程中，电弧靶的靶电流密度为0.5至2.0Acm2、溅射靶的平均功率密度为5至25Wcm2、偏压为-50至-150V、气压为0.4至3.0Pa；每个交替沉积周期所获得的交替单元的厚度为5至50nm，所述交替单元中所述阴极弧蒸发氧化物层和所述磁控溅射氧化物层的厚度比为1：3至3：1，沉积时间为60至360min。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广东工业大学 氧化物硬质涂层的复合沉积方法及涂层刀具
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