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申请/专利权人：北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
摘要：本申请提供了一种隔振平台控制系统及方法，该系统包括：平台控制系统状态机用于监控多个子状态机的当前状态，并根据当前状态调控每个子状态机的运行；子状态机用于根据平台控制系统状态机的状态调控指令更新该子状态机的当前状态；子控制系统用于根据该子控制系统对应的子状态机的当前状态对减振器执行相应的控制策略，并将执行结果反馈给错误处理模块；错误处理模块用于检测每个子控制系统的执行结果是否发生异常，并将检测出来的异常信息发送给平台控制系统状态机，以使平台控制系统状态机根据异常信息调控每个子状态机的当前状态。通过采用上述隔振平台控制系统及方法，解决了现有隔振平台控制系统的控制自由度及减振器适配度低的问题。
主权项：1.一种隔振平台控制系统，其特征在于，包括：平台控制系统状态机，用于监控多个子状态机的当前状态，并根据所述当前状态调控每个子状态机的运行，以实现对多个子控制系统的控制；子状态机，用于根据所述平台控制系统状态机的状态调控指令更新该子状态机的当前状态，以通过更新后的当前状态对目标子控制系统进行相应控制；子控制系统，用于根据该子控制系统对应的子状态机的当前状态对减振器执行相应的控制策略，并将执行结果反馈给错误处理模块；错误处理模块，用于检测每个子控制系统的执行结果是否发生异常，并将检测出来的异常信息发送给所述平台控制系统状态机，以使平台控制系统状态机根据所述异常信息调控每个子状态机的当前状态。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所) 一种隔振平台控制系统及方法
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