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申请/专利权人：丰晃公司
摘要：本发明提供一种抑制异物附着于光学元件的激光照射装置。将激光照射装置设为包括射出光学系统10、20、30和保护构件70的结构，射出光学系统10、20、30形成激光振荡器所产生的激光在预定的聚束点BS处聚集的光束B，并且使光束的照射方向等连续地变化，保护构件70设于射出光学系统和聚束点之间，保护射出光学系统不受从照射对象物侧飞散的异物的影响，并且具有供光束通过的开口71，与光束的照射方向等的变化连动以使开口的位置位于光束的路径上。
主权项：1.一种激光照射装置，其特征在于，该激光照射装置包括：射出光学系统，其形成激光振荡器所产生的激光在预定的聚束点处聚集或会聚的光束，并且使所述光束的照射方向和光路位置中的至少一者连续地变化；以及保护构件，其设于所述射出光学系统和所述聚束点之间，抑制从照射对象物侧飞散的异物到达所述射出光学系统，并且具有供所述光束通过的开口，与所述光束的照射方向和光路位置中的至少一者的变化连动，以使所述开口的位置位于所述光束的路径上，该激光照射装置沿着所述光束的光路设有多个所述保护构件，关于多个所述保护构件的所述开口的尺寸，距所述射出光学系统较近的一侧的所述开口的尺寸较大，所述开口相对于所述保护构件的中心偏心地配置，距所述射出光学系统较近的一侧的所述开口的偏心量较小，距所述射出光学系统较近的一侧的所述保护构件设置为将安装有所述射出光学系统的光学元件的筒的内部封闭。
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