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激光加工装置 

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申请/专利权人:松下知识产权经营株式会社

摘要:激光加工装置具有在收容扫描部46的头单元13的壳体13a中收容的拍摄部48。拍摄部48通过保护玻璃49对加工对象物W进行拍摄,从而取得包含加工区域的至少一部分在内的对象物图像。拍摄部48以用于取得对象物图像的拍摄轴48L相对于保护玻璃49的铅垂轴49L在距保护玻璃49规定的第一距离的位置交叉的方式配置。

主权项:1.一种激光加工装置,利用激光对加工对象物进行加工,其特征在于,所述激光加工装置具备:激光光源,其出射所述激光;扫描部,其将从所述激光光源出射的所述激光朝向所述加工对象物照射,并在所述加工对象物的加工区域内进行二维扫描;出射窗部,其供由所述扫描部向所述加工对象物照射的所述激光透过;壳体,其具有朝向所述加工对象物的一侧面,并在所述一侧面设置所述出射窗部,且所述壳体至少收容所述扫描部;以及拍摄部,其收容于所述壳体,并通过所述出射窗部对所述加工对象物进行拍摄,从而取得包含所述加工区域的至少一部分在内的对象物图像,所述拍摄部以用于取得所述对象物图像的拍摄轴相对于所述出射窗部的铅垂轴在距所述出射窗部规定的第一距离的位置交叉的方式配置。

全文数据:

权利要求:

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