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申请/专利权人：福建华佳彩有限公司
摘要：本实用新型提供一种干蚀刻机终点检测装置，包括有光谱仪、固定环以及石英视窗，固定环连接有安装组件，安装组件包括有安装块，安装块连接在固定环位于干蚀刻机外部的一侧，安装块开设有方形孔，方形孔的面积至少为光谱仪镜头面积的2倍，安装块连接有连接板，连接板开设有通孔，光谱仪的镜头位于通孔内，连接板开设有滑槽，滑槽与通孔相连通，滑槽内滑动连接有挡块。通过移动挡块，调节本装置的开口度大小来匹配不同程度雾化的视窗，进而实现增大雾化的石英视窗的可用区间，来延长石英视窗的使用寿命，减少蚀刻机终点检测异常对策和视窗雾化更换频率，提高机台稼动率。
主权项：1.一种干蚀刻机终点检测装置，包括有光谱仪、设置在干蚀刻机终点处的固定环以及与固定环相连接的石英视窗，所述石英视窗位于干蚀刻机的内部，所述固定环的一侧位于干蚀刻机的外部，其特征在于：所述固定环连接有用于安装光谱仪的安装组件，所述安装组件包括有安装块，所述安装块连接在固定环位于干蚀刻机外部的一侧，所述安装块开设有方形孔，所述安装块远离固定环的一侧连接有连接板，所述连接板开设有与光谱仪的镜头相匹配的通孔，所述方形孔的长度尺寸和宽度尺寸均大于通孔的直径，所述光谱仪的镜头位于通孔内，所述连接板靠近安装板的一侧开设有滑槽，所述滑槽与通孔相连通，且所述滑槽的宽度与通孔直径相匹配，所述滑槽的长度大于通孔的直径，所述滑槽内滑动连接有挡块，所述挡块用于调节光谱仪镜头接收光线的面积。
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百度查询： 福建华佳彩有限公司 一种干蚀刻机终点检测装置
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