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一种TFT用高纯铝蚀刻液生产装置 

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申请/专利权人:福建中融科技有限公司

摘要:发明公开了一种TFT用高纯铝蚀刻液生产装置,属于化工生产技术领域,包括混合罐、第一轴套、花键轴、护罩、驱动件、第一执行机构、齿轮泵、第二执行机构、动力转换组件、第三齿轮、中心搅拌组件、转动板、限位组件和自转搅拌机构。通过上述方式,本发明中心搅拌组件能转动搅拌原料,还能上下移动搅拌原料,避免出现涡流,从而充分混合混合罐内的原料,混合效果好;驱动件通过动力转换组件驱动第二执行机构运行,第二执行机构驱动齿轮泵运行,齿轮泵增加混合罐内蚀刻液流出速度,提高生产效率。

主权项:1.一种TFT用高纯铝蚀刻液生产装置,其特征在于,包括:混合罐;第一轴套,转动设置于混合罐的轴心;花键轴,与第一轴套滑动连接;护罩,与混合罐固定连接;驱动件,与护罩固定连接;第一执行机构,与混合罐和护罩连接,且与花键轴连接,所述第一执行机构用于驱动花键轴旋转并上下移动;所述第一执行机构包括:旋转组件,与花键轴连接,且与护罩连接,所述旋转组件用于带动花键轴转动;移动组件,与花键轴连接,且与护罩连接,所述移动组件用于带动花键轴上下移动;驱动组件,两端分别与混合罐和护罩连接,所述驱动组件用于驱动旋转组件和移动组件;齿轮泵,进料端与混合罐固定连通,且出料端与下料管连接,所述齿轮泵用于增加混合罐内蚀刻液流出速度;第二执行机构,与混合罐连接,且与齿轮泵的驱动轴连接,所述第二执行机构用于驱动齿轮泵运行;动力转换组件,与护罩连接,且与驱动件连接,所述动力转换组件用于连接驱动件和驱动组件或者连接驱动件和第二执行机构;第三齿轮,套设于花键轴外侧,且通过固定杆与混合罐固定连接;中心搅拌组件,与花键轴同轴固定连接;转动板,与花键轴滑动连接;限位组件,与混合罐和转动板连接,以达到对转动板的引导和支撑;自转搅拌机构,转动设置于转动板上并圆周均匀分布,所述自转搅拌机构与第三齿轮连接。

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权利要求:

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