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申请/专利权人:昆山龙腾光电股份有限公司
摘要:本实用新型实施例公开了一种平坦度测量装置和系统,该装置包括电源模块、检测模块、多个压力传感器和多个电阻,多个压力传感器并联连接,压力传感器的输入端与电源模块的第一端连接,每一压力传感器的输出端均与一电阻的第一端连接;其中,压力传感器的内阻与自身受到的压力相关联;检测模块与各压力传感器的输出端连接,以根据检测到的压力传感器的输出端的电压确定压头的平坦度。本实施例提供的技术方案能够实现数字化测量,且精度高,易于保存数据,有利于稽核和制程的改善。
主权项:1.一种平坦度测量装置,用于测量压合平台的压头是否平坦,其特征在于,所述平坦度测量装置包括:电源模块和多个压力传感器,多个所述压力传感器并联连接,所述压力传感器的输入端与所述电源模块的第一端连接,所述电源模块的第二端接地;其中,所述压力传感器的内阻与自身受到的压力相关联;多个电阻,每一所述压力传感器的输出端均与一所述电阻的第一端连接,所述电阻的第二端与所述电源模块的第二端连接;检测模块,所述检测模块与各所述压力传感器的输出端连接,以根据所述压力传感器输出端的电压确定所述压头的平坦度。
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