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磁屏组件以及半导体制造设备 

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申请/专利权人:杭州积海半导体有限公司

摘要:本发明提供一种磁屏组件以及半导体制造设备,磁屏组件包括:磁源、通信设备以及磁屏件;磁屏件可拆卸地设置于磁源与通信设备之间;磁源与通信设备之间的距离在第一预设范围内,磁屏件至少包覆通信设备的一部分;磁源与通信设备之间的距离在第二预设范围内,磁屏件位于磁源与通信设备之间,且靠近通信设备设置;磁屏件由相对磁导率不小于80000的材料制成。如此配置,磁屏件由高导磁率材料制成,将磁屏件可拆卸地设置于磁源与通信设备之间,并根据磁源与通信设备之间的距离,选取合适的磁屏件布置方式,能够在不改变原有布局的基础之上,使得磁屏件完全隔断磁场对通信设备的传输信号的影响,保持传输信号的准确性和有效性。

主权项:1.一种磁屏组件,其特征在于,包括:磁源、通信设备以及磁屏件;所述磁屏件可拆卸地设置于所述磁源与所述通信设备之间;所述磁源与所述通信设备之间的距离在第一预设范围内,所述磁屏件至少包覆所述通信设备的一部分;所述磁源与所述通信设备之间的距离在第二预设范围内,所述磁屏件位于所述磁源与所述通信设备之间,且靠近所述通信设备设置;所述磁屏件由相对磁导率不小于80000的材料制成。

全文数据:

权利要求:

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