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申请/专利权人：中机半导体材料(深圳)有限公司
摘要：本发明提供了一种用于碳化硅衬底减薄用的2000目减薄砂轮的制备方法，本发明包括如下步骤：S1：凝胶溶胶法制备结合剂；S2：搅拌；S3：凝胶；S4：脱脂烧结水淬砂磨；S5：浆料配合；S6：喷雾造粒；S7：冷压成型；S8：脱脂烧结组装修整调试。本发明的发明点是：1、溶胶凝胶法制备结合剂，保证了结合剂的均匀性；2、采购喷雾干燥的方式混合浆料，再经过冷压成型，保证了微米级别的物料堆积的均匀性，保证了整体的金刚石减薄砂轮减薄齿的宏观一致性；从而保证了整体砂轮在加工过程中加工效果的一致性，不会因为局部不均而产生划伤，烧伤等不良。
主权项：1.一种用于碳化硅衬底减薄用的2000目减薄砂轮的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：S1：凝胶溶胶法制备结合剂：可以控制其粘度和流动性；S2：搅拌：将事先精确称量好的金刚石粉和助磨剂加入到凝胶溶胶中进行搅拌；S3：凝胶：混合物经过充分搅拌后，形成具有一定粘度和流动性的凝胶状态；S4：脱脂烧结水淬砂磨：将混合物进行脱脂处理，以去除其中的有机物质，然后进行烧结和水淬处理，使其获得一定的硬度和结构稳定性；S5：浆料配合：将脱脂烧结后的混合物与分散剂、增稠剂、造孔剂等进行配合，分散剂用于确保金刚石粉末均匀分布，增稠剂则用于控制混合物的粘度，造孔剂用于形成砂轮中的孔洞结构，影响其磨削性能和散热效果；S6：喷雾造粒：将配合好的浆料通过喷雾造粒技术，制成复合团聚体，有助于控制砂轮的粒度分布和均匀性；S7：冷压成型：将喷雾造粒后的混合物放入模具中，进行冷压成型，在此过程中，可以控制砂轮的孔隙率和气孔大小与分布，以及最终的几何形状；S8：脱脂烧结组装修整调试：经过冷压成型后，砂轮需要进行脱脂烧结和组装修整，可进一步提高砂轮的硬度和耐磨性，确保其在使用过程中的稳定性和性能，最后，将经过调试和修整的砂轮装配成杯状的金刚石减薄砂轮。
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