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申请/专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
摘要：本发明涉及一种铝钛合金靶材组件的焊接方法，具体涉及靶材焊接领域，所述焊接方法包括：将铝钛合金靶材、铝层和背板依次装配后，进行热等静压焊接，得到铝钛合金靶材组件；其中，所述铝层进行渗钛处理，所得渗钛层的厚度为10‑100μm，所述渗钛层中钛的含量以质量百分含量计为20‑40％。本发明提供的焊接方法，通过对铝层进行特定的渗钛处理，优化铝钛合金靶材和背板的连接效果，实现铝钛合金靶材组件的焊接强度提升的同时显著降低了焊接后的所得靶材组件的变形量。
主权项：1.一种铝钛合金靶材组件的焊接方法，其特征在于，所述焊接方法包括：将铝钛合金靶材、铝层和背板依次装配后，进行热等静压焊接，得到铝钛合金靶材组件；其中，所述铝层进行渗钛处理，所得渗钛层的厚度为10-100μm，所述渗钛层中钛的含量以质量百分含量计为20-40％。
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权利要求：
百度查询： 宁波江丰电子材料股份有限公司 一种铝钛合金靶材组件的焊接方法
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