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申请/专利权人：先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要：本发明属于靶材制备技术领域，公开了掺镓氧化锌靶材的制备方法，包括：将氧化镓、氧化锌等制浆，经研磨、喷雾造粒、酸溶研磨、干燥成型、冷等静压、烧结等步骤，获得相对密度较高的掺镓氧化锌靶材。本发明的制备方法工艺简单易操作，制备得到的掺镓氧化锌靶材具有致密的微观结构。
主权项：1.一种掺镓氧化锌靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：将氧化镓粉末和氧化锌粉末加入含有分散剂和粘结剂的去离子水中分散，得到浆料Ⅰ；浆料Ⅰ经研磨后进行喷雾造粒，得到造粒粉末；在酸性溶液中研磨造粒粉末，得到浆料Ⅱ；浆料Ⅱ经干燥成型后，进行冷等静压处理，得到素坯；烧结素坯，得到掺镓氧化锌靶材。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 先导薄膜材料(广东)有限公司 掺镓氧化锌靶材及其制备方法
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