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申请/专利权人：苏州六九新材料科技有限公司
摘要：本申请涉及粉末冶金材料的技术领域，具体公开了一种铝钇合金复合靶材及其制备方法。本申请公开的铝钇合金复合靶材的制备方法为：利用粉末混合均匀、模压成型得到AlSi冷压坯；然后进行真空热压烧结处理，经过缓冷，脱模得到复合靶坯，后处理得到靶材产品；热压烧结处理的参数条件为：装粉后施加3‑8MPa的压力，在150‑250℃下保温1‑4h；然后以3‑10℃min的升温速率升温至480‑580℃，保温1‑3h；然后以0.5‑3℃min的升温速率升温至600‑650℃，保温0.5‑2h。本申请通过上述制备方法实现了高致密度，杂质元素含量低，成分均匀无偏析的铝钇合金复合靶材的制备。
主权项：1.一种铝钇合金复合靶材的制备方法，其特征在于，具体包括以下步骤：混粉：将Al粉和AlY1387wt%合金粉按照比例称重后混合均匀，得到由Al=20-60wt%，Y=40-80wt%组成的AlY合金靶层粉末；同时将Al粉和AlSi10合金粉按照比例称量后混合均匀，得到由Al=0-60wt%，AlSi10=40-100wt%组成的AlSi合金底层粉末；模压成型：将AlSi合金底层粉末通过模压成型，得到致密度为80-95%的AlSi合金底层冷压坯；装模：将AlSi合金底层冷压坯装入模具中，在上方均匀填充AlY合金靶层粉末；热压烧结：在10-1-10-3Pa的真空条件下进行热压烧结处理，经过缓冷，脱模得到复合靶坯；所述热压烧结处理的参数条件为：装粉后施加3-8MPa的压力，在150-250℃的条件下保温1-4h；然后以3-10℃min的升温速率升温至480-580℃，保温1-3h，同时压力线性增加至设定值20-50MPa；然后以0.5-3℃min的升温速率升温至600-650℃，保温0.5-2h；后处理：将所述复合靶坯进行机加工，得到靶材产品。
全文数据：
权利要求：
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