龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：海门弘鼎电子科技有限公司
摘要：本发明涉及金属镀膜设备领域的一种高纯度靶材物理气相沉积设备，通过设置在基座上的夹持套以及安装在夹持套内的夹持圈，对基片进行过盈夹持，使得夹持套位于基片下方的腔体与基座内的冷却腔构成一个封闭腔体，然后利用进液管和回流管实现导热油的填充和循环，使得导热油与基片下部充分浸润接触，克服传统的风冷和液冷散热装置与基片接触不充分的问题，对靶材溅射粒子与基片碰撞产生的热量进行充分吸收，并在导流盘的作用下，使得导热油在导流盘和基片之间的扁平腔体内快速均匀扩散，快速带离基片的热量并提高换热均匀性，减少基片因为高能粒子撞击产生热量无法及时散热造成的基片局部热应力集中的问题。
主权项：1.一种高纯度靶材物理气相沉积设备，其特征在于，包括真空罐（1）、安装在真空罐（1）上部的靶材安装板（2）以及磁控组件（3）；所述真空罐（1）下部设有与其底壁固定连接的基座（4），基座（4）内开设有冷却腔（401），冷却腔（401）上部连通有夹持套（5），夹持套（5）中部设有用来夹持基片（7）的夹持机构，冷却腔（401）内设有与基片（7）下部中心相对设置且延伸至基座（4）下方的进液管（14），进液管（14）顶部固定套接有导流盘（15），导流盘（15）与基片（7）之间形成有供导热油流动的扁平腔体，冷却腔（401）底部连通有延伸至基座（4）下方的回流管（16），回流管（16）和进液管（14）均与外部导热油冷却循环机连通；所述夹持机构包括与夹持套（5）一体成型的夹持圈（6），夹持圈（6）与基片（7）过盈配合，夹持圈（6）外端卡接有呈圆周分布的多个卡条（8），卡条（8）外侧固定连接有牵引杆（9），牵引杆（9）外端滑动卡接有安装在基座（4）内的槽盘（10），槽盘（10）内侧固定连接有齿轮环（11），齿轮环（11）啮合有与第一电机（13）连接的驱动齿轮（12），第一电机（13）通过驱动齿轮（12）和齿轮环（11）带动槽盘（10）转动，槽盘（10）转动时带动牵引杆（9）做径向移动，牵引杆（9）通过卡条（8）将夹持圈（6）张开。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 海门弘鼎电子科技有限公司 一种高纯度靶材物理气相沉积设备
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号