龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：兴宇宏半导体科技(苏州)有限公司
摘要：本发明公开了具有间隙自适应微调功能的晶圆自动理片器，涉及半导体理片器技术领域，在常规晶圆理片器基本原理的基础之上进行改进，采用自由移动的翅片作为“固定”晶圆的基本结构，有所不同的是：通过定向滑块中的定向拨片可以实现多个翅片的定向移动过程，以此方式来改变每个翅片之间的间隙，其目的在于适应不同厚度的晶圆，且在“固定”晶圆的基础之上，通过对通气杆进行鼓气，以其中的透气槽吹出气流形成气隙，使晶圆的“固定”中具备活动性，以此为基础，在常规中心滚辊的两侧位置上设置有起到辅助作用的侧向拨杆组件，利用其中的缩径杆改变晶圆理片过程中的夹持直径适应不同直径的晶圆，并利用下拨杆来适应存在定位缺角的晶圆。
主权项：1.具有间隙自适应微调功能的晶圆自动理片器，包括底座框架1和翅片组，所述底座框架1中转动安装有中心滚辊4，所述翅片组由多个定向翅片10组成，其特征在于，所述底座框架1的四角位置上安装有呈竖向设置的立向杆5，所述翅片组沿底座框架1的长度方向设置在两个立向杆5的中间位置上，所述中心滚辊4的设置方向与底座框架1的长度方向相平行，所述底座框架1中对应中心滚辊4两侧位置上转动安装有侧向拨杆组件9，所述侧向拨杆组件9的设置方向与底座框架1长度方向相平行；两个沿所述底座框架1长度方向设置的立向杆5中间安装有滑杆11和通气杆12，所述定向翅片10在滑杆11上为滑动连接，所述通气杆12对应两个立向杆5中间部分的圆周外壁上开设有透气槽16；两个沿所述底座框架1长度方向设置的立向杆5外部位置上安装有对应中心滚辊4长度方向的侧安装套2，所述侧安装套2内部一侧位置上安装有电动推杆13，所述电动推杆13输出轴末端位置上安装有定向滑块14，所述定向滑块14对应翅片10的外壁位置上安装有中间拨片15。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 兴宇宏半导体科技(苏州)有限公司 具有间隙自适应微调功能的晶圆自动理片器
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号