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申请/专利权人：奕瑞影像科技(太仓)有限公司
摘要：本发明提供一种用于植球的晶圆载具及方法，晶圆载具包括植球治具、翻转治具和固定治具，植球治具和翻转治具用于装载待植球晶圆，固定治具用于将待植球晶圆固定在焊线机上。在利用本发明提供的晶圆载具进行植球时，先将晶圆切割成半圆形的待植球晶圆，再将待植球晶圆装载在晶圆载具中进行植球，一方面，避免了整片晶圆在拿取过程中容易出现的破片的问题，提高了工艺的稳定性和可靠性；另一方面，植球完成后再将其切割成多个单粒芯片，解决了单个芯片植球过程中无法吸住芯片的问题，确保了芯片在植球过程中的安全性。
主权项：1.一种用于植球的晶圆载具，其特征在于，包括植球治具和翻转治具，其中，所述植球治具包括底座和面板，所述底座中具有半圆形的真空腔体，所述面板位于所述真空腔体中；所述面板具有多个通孔，多个所述通孔贯穿所述面板的两相对表面；支撑件支撑件所述翻转治具位于所述面板背离所述底座的一面，且所述翻转治具朝向所述面板的一面具有半圆形的凹槽，待植球晶圆装载于所述凹槽与所述面板之间。
全文数据：
权利要求：
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