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申请/专利权人：腾讯科技(深圳)有限公司
摘要：本申请实施例公开了一种触觉传感器的制造方法及设备，该方法包括：将第一高分子聚合物旋涂在镀有目标薄膜的硅片上并进行加热固化，并对加热固化后的硅片进行改性处理，以生成具有第一包层和目标薄膜的硅片；将第一光刻胶旋涂在具有第一包层和目标薄膜的硅片上并进行光刻，对光刻后的硅片进行等离子刻蚀，以生成具有触觉传感器薄膜和目标薄膜的硅片；将第一高分子聚合物旋涂在具有触觉传感器薄膜和目标薄膜的硅片上进行加热固化后生成第二包层以得到固化后的硅片，溶解固化后的硅片上的目标薄膜以得到触觉传感器。采用本申请实施例，可制成具有高传感空间分辨率和高传感灵敏度的触觉传感器。
主权项：1.一种触觉传感器的制造方法，其特征在于，包括：将第一高分子聚合物旋涂在镀有目标薄膜的硅片上并进行加热固化，并对加热固化后的硅片进行改性处理，以生成具有第一包层和所述目标薄膜的硅片；将第一光刻胶旋涂在所述具有第一包层和所述目标薄膜的硅片上并进行光刻，对光刻后的硅片进行等离子刻蚀，以生成具有触觉传感器薄膜和所述目标薄膜的硅片，所述触觉传感器薄膜包括所述第一包层、内芯以及波导光栅；将所述第一高分子聚合物旋涂在所述具有触觉传感器薄膜和所述目标薄膜的硅片上进行加热固化后生成第二包层以得到固化后的硅片，溶解所述固化后的硅片上的所述目标薄膜以得到触觉传感器，所述触觉传感器包括所述内芯、标记物、所述波导光栅、所述第一包层以及所述第二包层。
全文数据：
权利要求：
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