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申请/专利权人:新优势产业集团有限公司
摘要:本发明公开了一种带有超导磁体的等离子体CVD装置腔体的顶部设有超导磁体,超导磁体包括与变频电源相连的超导线圈及低温装置,超导线圈的上端呈圆筒形,下端向外扩展形成上小下大的喇叭形,腔体与超导磁体之间设有绝缘顶板;腔体内设有基材台,基材台与腔体的底板之间设有绝缘环,绝缘环内侧的底板中央设有微波输入孔;微波发生器通过模式转换器及微波输入孔与腔体连接,腔体的一侧设有腔体升降装置。本发明的等离子体CVD装置中,等离子体中的碳不仅可以向下沉积,还可以横向沉积,从而可以适用于立体结构的基材,大大扩展了CVD装置的适用范围。
主权项:1.一种带有超导磁体的等离子体CVD装置,包括机架(1)及腔体(2),所述腔体包括底板(3)及设置在底板上的圆筒状腔壁(4),其特征是,所述腔体的顶部设有超导磁体(5),所述的超导磁体包括超导线圈(6)及设置在超导线圈外周的低温装置(7),所述超导线圈与变频电源相连,超导线圈的上端呈圆筒形,超导线圈的下端向外扩展形成上小下大的喇叭形,所述的腔体与所述超导磁体之间通过设置在腔体顶部的绝缘顶板(8)分隔;所述的腔体内设有基材台(9),所述基材台与腔体的底板之间设有绝缘环(10),所述绝缘环内侧的底板中央设有微波输入孔(11);设置在机架上的微波发生器(12)通过模式转换器(13)及微波输入孔与腔体连接,腔体的一侧设有腔体升降装置(14),所述的腔体升降装置与腔体的圆筒状腔壁相连。
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